Vyhlásenie o ochrane osobných údajov: Vaše súkromie je pre nás veľmi dôležité. Naša spoločnosť sľubuje, že vaše osobné informácie zverejní akýmkoľvek expanziou bez vašich výslovných povolení.
Model č.: Sulphur Hexafluoride CAS: 2551-62-4
Typ platby: L/C,T/T,Paypal
Síry hexafluoridy CAS: 2551-62-4 SF6 99,999% 5n Vysokokarálne elektronický špeciálny plyn
Využitie produktu
Hexafluorid sulfur je bezfarebný, bez zápachu, netoxický, nehorlivý inertný plyn s molekulovou hmotnosťou 146,07, teplota topenia -51 ° C a bodom varu -64 ° C. Molekulárna štruktúra hexafluoridu síry je usporiadaná do oktaedronu, lepkavá vzdialenosť je malá a spájajúca energia je vysoká, takže jej stabilita je vysoká. Elektronický vysokokvalitný hexafluorid s vysokou čistotou je ideálny lept. Hexafluorid sulfur sa môže použiť na leptanie povrchu kremíka a na odstránenie organických alebo anorganických membrán na polovodičových materiáloch a môže sa použiť pri výrobe optických vlákien.
Kvalita
Items |
Units |
Index |
(SF6)Sulfur hexafluoride |
Vol./% |
≥99.999% |
Oxygen+Argon(O2+Ar)≤ |
Vol.ppm |
≤2 |
Nitrogen(N2)≤ |
Vol.ppm |
≤2 |
Carbon tetrafluoride(CF4)≤ |
Vol.ppm |
≤1 |
Carbon monoxide(CO)≤ |
Vol.ppm |
≤0.5 |
Carbon dioxide(CO2)≤ |
Vol.ppm |
≤0.5 |
Methane(CH4)≤ |
Vol.ppm |
≤0.5 |
Moisture(H2O)≤ |
Vol.ppm |
≤3 |
Acidity(以HF计)≤ |
μg |
≤0.1 |
Hydrolytic fluoride(以HF计)≤ |
μg |
≤0.8 |
Total impurity content≤ |
μg |
≤10 |
Particle |
μg |
Supply and demand agreement |
Aplikácia
Elektronický vysoký čistý hexafluorid hexafluorid je ideálnym elektronickým leptaním, ktorý sa široko používa v oblasti mikroelektroniky, používa sa ako činidlo na leptanie a čistenie plazmy pri výrobe veľkých integrovaných obvodov, ako sú počítačové čipy a LCD. Hexafluorid sulfur sa používa ako zdroj fluóru na výrobu skla dopovaných fluórmi pri príprave optických vlákien. Okrem toho môže byť hexafluorid sulfur tiež použitý ako izolačný plyn, indikačné činidlo a chladivo.
Balenie 、 úložisko
Hexafluorid sulfur sa ukladá v štandardných bezšvových valcoch, zvyčajne objem valca je 40 l, typ valca je CGA590 QF-2 a tlak valca je 8,0 MPA a 12,5 MPa. Špecifikácie špecifických balení je možné prispôsobiť podľa požiadaviek používateľa. Hexafluorid sulfur je uložený v tienistom a vetranom skladbe mimo požiaru a zdroja tepla, teplota skladu nepresiahne 30 ℃. Mal by sa samostatne skladovať s horľavou (horľavou) a oxidačným činidlom. Skladovací priestor musí byť vybavený núdzovými zariadeniami na núdzové situácie.
Kategórie produktov : Polovodičové elektronické chemické materiály > Vysoko čistotný elektronický špeciálny plyn obsahujúci fluór
Mobilné stránky
Vyhlásenie o ochrane osobných údajov: Vaše súkromie je pre nás veľmi dôležité. Naša spoločnosť sľubuje, že vaše osobné informácie zverejní akýmkoľvek expanziou bez vašich výslovných povolení.
Vyplňte viac informácií, ktoré sa s vami môžu rýchlejšie spojiť
Vyhlásenie o ochrane osobných údajov: Vaše súkromie je pre nás veľmi dôležité. Naša spoločnosť sľubuje, že vaše osobné informácie zverejní akýmkoľvek expanziou bez vašich výslovných povolení.